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念着倒称昵新虫 (著名写手)
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[求助]
关于SEM的操作？已有3人参与
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| 对于测定一个薄膜样品材料，为了获得最清晰的图像，如何知道这个材料在进行SEM操作过程中的最佳电子加速电压，最佳光斑大小呢？另外光斑大小数值改变会带来什么影响，越小越好吗？SEM中的 Lens Align的大小代表什么，改变它的数值会有什么影响？求各位大神解答，谢谢？ |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-26 15:00:04
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:08
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:49
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念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:49
| 这个无法确定最佳，就像楼上说的，要在测试过程中调整。加速电压是影响电子穿透深度，加速电压越大，获得材料表面细节越少，假如你的样品已经很薄了，那就要采取很低的加速电压。光斑或者束流是影响分辨率，光斑越小，能看到的细节越多，但是相应的信噪比会小，可能看起来会有很多毛刺，尤其是高倍的时候。这些参数也受电镜类型的影响，钨灯丝跟场发射的差别很大的。 |
4楼2016-04-26 08:26:51