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念着倒称昵

新虫 (著名写手)

[求助] 关于SEM的操作? 已有3人参与

对于测定一个薄膜样品材料,为了获得最清晰的图像,如何知道这个材料在进行SEM操作过程中的最佳电子加速电压,最佳光斑大小呢?另外光斑大小数值改变会带来什么影响,越小越好吗?SEM中的 Lens Align的大小代表什么,改变它的数值会有什么影响?求各位大神解答,谢谢?
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-25 11:20:44
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:14
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:43
所有的这些,操作人员都很清楚,去了以后,说明要求即可。一般情况下,是在观察过程中逐渐调节到你满意为止。
青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-04-25 10:51:34
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念着倒称昵

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2016-04-25 10:51:34
所有的这些,操作人员都很清楚,去了以后,说明要求即可。一般情况下,是在观察过程中逐渐调节到你满意为止。

现在正在学习SEM操作,以后自己去操作,所以想弄明白这些疑问,不想到时候只知道怎么做而不知道内在的原理!
3楼2016-04-25 11:22:24
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奕奕

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-26 15:00:04
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:08
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:49
这个无法确定最佳,就像楼上说的,要在测试过程中调整。加速电压是影响电子穿透深度,加速电压越大,获得材料表面细节越少,假如你的样品已经很薄了,那就要采取很低的加速电压。光斑或者束流是影响分辨率,光斑越小,能看到的细节越多,但是相应的信噪比会小,可能看起来会有很多毛刺,尤其是高倍的时候。这些参数也受电镜类型的影响,钨灯丝跟场发射的差别很大的。
4楼2016-04-26 08:26:51
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atlasxm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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念着倒称昵: 金币+1 2016-04-26 15:00:12
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:03
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:54
SEM没有光斑的概念,可以选择不同的光阑,不同孔径会有不同的效果。加速电压、工作距离、光阑孔径都需要自己多尝试。至于lens align就不要乱动了,我怎么感觉是售后工程师才能动的东西,涉及仪器校准对中之类,不会别瞎摆弄。
5楼2016-04-26 08:52:30
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沉沦的草木

新虫 (正式写手)

SEM操作过程中一般20kv电压,通过调节亮度对比度以及对焦调整清晰度。

发自小木虫Android客户端
6楼2016-04-26 20:45:25
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分析测试中心

禁言 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

7楼2016-04-28 09:24:15
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atlasxm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:59
引用回帖:
6楼: Originally posted by 沉沦的草木 at 2016-04-26 20:45:25
SEM操作过程中一般20kv电压,通过调节亮度对比度以及对焦调整清晰度。

20kV,拍薄膜,你不是开玩笑吧。。。
8楼2016-04-29 09:40:27
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