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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 用直流磁控溅射制备 Y2O3薄膜 放电怎么办？
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)

[求助] 用直流磁控溅射制备 Y2O3薄膜 放电怎么办？ 已有1人参与

功率 120W 压强1.0pa  氩氧比 30：3 靶材 金属钇 先用射频预溅射 再用直流正式做实验 前30分钟左右正常起灰，电流0.34左右 ，之后放电的指示灯开始间歇性的闪烁，且电流开始增大，再后来放电指示灯一直亮，电源里嗡嗡的响声，电流增大到0.704，怕把电源用坏了，所以直接就关掉电源了！有谁遇到过这种情况吗？帮帮我吧
Ps：自从用直流方法后靶材表面就有一层黑色
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-04-14 13:50:40
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
学渣求上进: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-04-16 21:54:05
三个方面应该注意考虑：
1.氧气的流量尽可能的小，一定要找到靶材表面形成氧化物的临近点，找到金属态溅射模式和氧化物溅射模式转变点，从你说靶材表面已经发黑，说明氧气流量过量了。
2.注意靶材的冷却，足量的冷却水使得靶材温度降低，这样是氩离子轰击靶表面溅射，如果靶材表面温度过高，很容易和氧气反应，甚至因为表面形成氧化膜熔点高，内部金属熔点低而发生喷溅。甚至击穿氧化层形成打火。这就是人们用RF代替DC的原因。
3.可以考虑局域供气法，也就是氧气不要和氩气混合供入真空室，而是氧气供向基体附近参与反应，氩气通入靶材附近参与溅射，当然这在真空室中是会扩散的，但是毕竟会有一个气体浓度的梯度存在。
4.另外注意不要弧光放电，真空度有点低，具体情况具体分析。
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vincentwz
2楼2016-04-14 16:53:13
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杨建军205

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 学渣求上进 at 2016-04-16 19:53:10
在网上查了一下弧光放电，但是没有理解，跟辉光放电有什么区别吗？如果真的发生了弧光放电，会有什么后果呀？...

弧光放电也称为电弧放电，电弧放电（arc discharge）是气体放电中最强烈的一种自持放电。当电源提供较大功率的电能时，若极间电压不高（约几十伏），两极间气体或金属蒸气中可持续通过较强的电流（几安至几十安）,并发出强烈的光辉，产生高温（几千至上万度），这就是电弧放电。电弧放电产生非常大的热量，放电电流大，放电电压小，通常情况下放电气体压强较高，也就是说等离子体密度很高，所以产生剧烈的粒子（离子与离子，原子，离子与电子）碰撞，并且产生二次电子，进一步碰撞离化，使得放电能够自持。容易引起电源的过载或者过流，甚至烧坏导线或者电源，所以要避免，通常情况下电源会有报警。
解决办法：提高溅射过程的真空度，起辉时可以在较高压强下，一旦起辉就要降低压强，提高真空度。
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6楼2016-04-16 20:51:10
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nuaalizhong

木虫 (正式写手)
请问你这做氧化钇膜做什么呢？我也准备做

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3楼2016-04-15 17:02:19
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by nuaalizhong at 2016-04-15 17:02:19
请问你这做氧化钇膜做什么呢？我也准备做

就是单纯的想制备薄膜，看一下有什么性质，
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4楼2016-04-16 19:43:33
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-14 16:53:13
三个方面应该注意考虑：
1.氧气的流量尽可能的小，一定要找到靶材表面形成氧化物的临近点，找到金属态溅射模式和氧化物溅射模式转变点，从你说靶材表面已经发黑，说明氧气流量过量了。
2.注意靶材的冷却，足量的冷 ...

在网上查了一下弧光放电，但是没有理解，跟辉光放电有什么区别吗？如果真的发生了弧光放电，会有什么后果呀？
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5楼2016-04-16 19:53:10
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-16 20:51:10
弧光放电也称为电弧放电，电弧放电（arc discharge）是气体放电中最强烈的一种自持放电。当电源提供较大功率的电能时，若极间电压不高（约几十伏），两极间气体或金属蒸气中可持续通过较强的电流（几安至几十安）, ...

那电源没有报警，就是没有弧光放电吧？
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7楼2016-04-16 21:54:51
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杨建军205

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 学渣求上进 at 2016-04-16 21:54:51
那电源没有报警，就是没有弧光放电吧？...

当然，在磁控溅射过程中一般是不会发生电弧放电的，毕竟电源的功率不会很大。但是如果发生短路或者气压过高是可能引起局部的电弧放电的。帖子中说听到电源嗡嗡声，指针跳动，及时关掉电源是对的。
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8楼2016-04-16 22:13:31
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大罗啵
祝福

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9楼2016-04-18 19:41:53
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-14 16:53:13
三个方面应该注意考虑：
1.氧气的流量尽可能的小，一定要找到靶材表面形成氧化物的临近点，找到金属态溅射模式和氧化物溅射模式转变点，从你说靶材表面已经发黑，说明氧气流量过量了。
2.注意靶材的冷却，足量的冷 ...

觉得您的回答很专业，想进一步请教下， 靶材表面形成氧化物的临近点怎么找？

您说的金属态溅射模式和氧化物溅射模式是什么意思？其转变点怎么找？

谢谢啦

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10楼2016-04-18 20:33:17
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