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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 用直流磁控溅射制备 Y2O3薄膜 放电怎么办？
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杨建军205

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by vincentwz at 2016-04-18 20:33:17
觉得您的回答很专业，想进一步请教下， 靶材表面形成氧化物的临近点怎么找？
您说的金属态溅射模式和氧化物溅射模式是什么意思？其转变点怎么找？
谢谢啦
...

临近点表示反应气体流量的一个阈值，在这个值以上，反应气体过量，一般情况下靶材中毒，或者说表面几乎完全形成一层氧化物或者氮化物（根据反应气体），在这个值以下，靶材表面大部分是金属态的，即使有少量的非金属区也很容易被氩离子轰击溅射重新出现金属区，这时候等离子体放电可以自持。由于反应气体密度小，靶材表面没有完全氧化或者氮化，或者氧化区很薄（一个或几个原子层），很容易溅射后又恢复金属面。靶材表面的状态决定了等离子体放电的各项参数和溅射速率，所以才会引起喷溅，打火，灭弧等等，也是金属态溅射的速率是非金属态溅射速率几倍或者十几倍的原因。想想金属Al溅射速率多快，而氧化铝（蓝宝石）溅射速率多慢？
关于转变点，普通的方法是观察等离子体的颜色，反应气体的量不足时等离子体主要是氩气等离子体的颜色和金属离子的光谱色，当反应气体过量了，则主要是反应气体的颜色了。
精密的方法是通过PEM光谱仪检测等离子体，先进的方法有通过等离子体光谱数据来实现在线监控和自动控制。具体求转变点的方法业界各有各的观点了，见仁见智不赘述了。
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11楼2016-04-18 21:13:01
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-18 21:13:01
临近点表示反应气体流量的一个阈值，在这个值以上，反应气体过量，一般情况下靶材中毒，或者说表面几乎完全形成一层氧化物或者氮化物（根据反应气体），在这个值以下，靶材表面大部分是金属态的，即使有少量的非金 ...

这么说来，我们利用反应磁控溅射时应该是让其工作在金属态溅射模式？

那具体的氬氧（或者氬氮）比例选择有没有什么规律或者原则可循？

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12楼2016-04-18 21:37:45
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-16 20:51:10
弧光放电也称为电弧放电，电弧放电（arc discharge）是气体放电中最强烈的一种自持放电。当电源提供较大功率的电能时，若极间电压不高（约几十伏），两极间气体或金属蒸气中可持续通过较强的电流（几安至几十安）, ...

亲 再问你一个问题 ！我是直径50mm厚度5mm'的金属靶材，靶材打得太薄会引起这种放电现象吗？
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13楼2016-04-19 16:46:09
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杨建军205

银虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 学渣求上进 at 2016-04-19 16:46:09
亲 再问你一个问题 ！我是直径50mm厚度5mm'的金属靶材，靶材打得太薄会引起这种放电现象吗？...

只要没有穿，一般是不会的。快穿的时候时刻注意就行了。
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14楼2016-04-19 19:28:36
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