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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 用直流磁控溅射制备 Y2O3薄膜 放电怎么办？
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新虫 (初入文坛)

[求助] 用直流磁控溅射制备 Y2O3薄膜 放电怎么办？已有1人参与

功率 120W 压强1.0pa  氩氧比 30：3 靶材 金属钇 先用射频预溅射 再用直流正式做实验 前30分钟左右正常起灰，电流0.34左右 ，之后放电的指示灯开始间歇性的闪烁，且电流开始增大，再后来放电指示灯一直亮，电源里嗡嗡的响声，电流增大到0.704，怕把电源用坏了，所以直接就关掉电源了！有谁遇到过这种情况吗？帮帮我吧
Ps：自从用直流方法后靶材表面就有一层黑色
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薄膜制备与特性

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1楼2016-04-14 13:50:40
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新虫 (初入文坛)
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3楼: Originally posted by nuaalizhong at 2016-04-15 17:02:19
请问你这做氧化钇膜做什么呢？我也准备做

就是单纯的想制备薄膜，看一下有什么性质，
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4楼2016-04-16 19:43:33
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新虫 (初入文坛)
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2楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-14 16:53:13
三个方面应该注意考虑：
1.氧气的流量尽可能的小，一定要找到靶材表面形成氧化物的临近点，找到金属态溅射模式和氧化物溅射模式转变点，从你说靶材表面已经发黑，说明氧气流量过量了。
2.注意靶材的冷却，足量的冷 ...

在网上查了一下弧光放电，但是没有理解，跟辉光放电有什么区别吗？如果真的发生了弧光放电，会有什么后果呀？
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5楼2016-04-16 19:53:10
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6楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-16 20:51:10
弧光放电也称为电弧放电，电弧放电（arc discharge）是气体放电中最强烈的一种自持放电。当电源提供较大功率的电能时，若极间电压不高（约几十伏），两极间气体或金属蒸气中可持续通过较强的电流（几安至几十安）, ...

那电源没有报警，就是没有弧光放电吧？
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7楼2016-04-16 21:54:51
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6楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-16 20:51:10
弧光放电也称为电弧放电，电弧放电（arc discharge）是气体放电中最强烈的一种自持放电。当电源提供较大功率的电能时，若极间电压不高（约几十伏），两极间气体或金属蒸气中可持续通过较强的电流（几安至几十安）, ...

亲 再问你一个问题 ！我是直径50mm厚度5mm'的金属靶材，靶材打得太薄会引起这种放电现象吗？
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13楼2016-04-19 16:46:09
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