| 查看: 1286 | 回复: 18 | ||
CHN1314金虫 (正式写手)
|
[求助]
钛合金上磁控溅射制备了约2微米厚的薄膜，怎么拍截面的扫描
|
|
| 现在的情况是：对试样进行侧面抛光后，SEM下看截面的线扫，测不出膜的成分来，估计是抛光的时候把膜给磨掉了，按照老师的建议，热镶之后再抛光，依然测不出来，貌似在基体与镶嵌料之间有空隙，就是说镶嵌料不紧密。现在应该怎么办啊，如何线扫测出薄膜的成分？ |
回复此楼» 猜你喜欢
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生
已经有3人回复
-
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士
已经有5人回复
-
求助院士们，这个如何合成呀
已经有4人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有9人回复
-
想换工作。大多数高校都是 评职称时 认可5年内在原单位取得的成果吗？
已经有7人回复
-
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言
已经有4人回复
-
自荐读博
已经有4人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有6人回复
-
带资进组求博导收留
已经有10人回复
-
最近几年招的学生写论文不引自己组发的文章
已经有11人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
CHN1314: 金币+30, ★★★很有帮助 2016-04-17 11:57:55
CHN1314: 金币+30, ★★★很有帮助 2016-04-17 11:57:55
|
1.提高镶料的压力和密度，压实。因为膜层和Ti合金之间可能有较大的应力，在研磨抛光的过程中的剪切力的作用下，膜层可能脱落。 2.提高研磨的深度。不管什么基体，其实在微观上，边沿都是有一定的弧度，在基体边沿上往往没有镀上膜层或者膜层很薄。只有在膜面的靠里部分膜层才是真实的厚度。 3.普通的机械研磨抛光，应力大，在不同材料的界面上往往研磨量是不同的，膜基结合力如果不够，膜层内应力较大，可能会使膜层断裂，脱落。所以在多层膜结构的横截面观察上，往往采用聚焦离子束微纳加工技术，也就是ion milling （离子研磨），也就是用聚焦离子束，垂直膜层面，沿着断面边沿轰击去除部分材料，出现一个新鲜的精细断面，然后再用SEM观察。 |
10楼2016-04-15 19:53:47
CHN1314
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2435.2
- 散金: 59
- 红花: 11
- 帖子: 386
- 在线: 46.5小时
- 虫号: 3331602
- 注册: 2014-07-20
- 专业: 半导体材料
2楼2016-04-08 15:12:07
CHN1314
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2435.2
- 散金: 59
- 红花: 11
- 帖子: 386
- 在线: 46.5小时
- 虫号: 3331602
- 注册: 2014-07-20
- 专业: 半导体材料
3楼2016-04-08 16:58:06
CHN1314
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2435.2
- 散金: 59
- 红花: 11
- 帖子: 386
- 在线: 46.5小时
- 虫号: 3331602
- 注册: 2014-07-20
- 专业: 半导体材料
4楼2016-04-08 21:06:25
L-lutt
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2552.4
- 散金: 38
- 红花: 5
- 帖子: 218
- 在线: 117.1小时
- 虫号: 1454143
- 注册: 2011-10-21
- 性别: GG
- 专业: 计算机软件
5楼2016-04-09 15:33:35
6楼2016-04-09 16:25:57
CHN1314
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2435.2
- 散金: 59
- 红花: 11
- 帖子: 386
- 在线: 46.5小时
- 虫号: 3331602
- 注册: 2014-07-20
- 专业: 半导体材料
7楼2016-04-13 02:14:18
CHN1314
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2435.2
- 散金: 59
- 红花: 11
- 帖子: 386
- 在线: 46.5小时
- 虫号: 3331602
- 注册: 2014-07-20
- 专业: 半导体材料
8楼2016-04-13 02:14:34
xiaoping_007
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 750.7
- 帖子: 24
- 在线: 305.6小时
- 虫号: 1052326
- 注册: 2010-07-05
- 专业: 碳素材料与超硬材料
9楼2016-04-15 16:49:41