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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 钛合金上磁控溅射制备了约2微米厚的薄膜，怎么拍截面的扫描
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CHN1314

金虫 (正式写手)

[求助] 钛合金上磁控溅射制备了约2微米厚的薄膜，怎么拍截面的扫描

现在的情况是：对试样进行侧面抛光后，SEM下看截面的线扫，测不出膜的成分来，估计是抛光的时候把膜给磨掉了，按照老师的建议，热镶之后再抛光，依然测不出来，貌似在基体与镶嵌料之间有空隙，就是说镶嵌料不紧密。现在应该怎么办啊，如何线扫测出薄膜的成分？
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1楼 2016-04-08 09:44:52
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
CHN1314: 金币+30, ★★★很有帮助 2016-04-17 11:57:55
1.提高镶料的压力和密度，压实。因为膜层和Ti合金之间可能有较大的应力，在研磨抛光的过程中的剪切力的作用下，膜层可能脱落。
2.提高研磨的深度。不管什么基体，其实在微观上，边沿都是有一定的弧度，在基体边沿上往往没有镀上膜层或者膜层很薄。只有在膜面的靠里部分膜层才是真实的厚度。
3.普通的机械研磨抛光，应力大，在不同材料的界面上往往研磨量是不同的，膜基结合力如果不够，膜层内应力较大，可能会使膜层断裂，脱落。所以在多层膜结构的横截面观察上，往往采用聚焦离子束微纳加工技术，也就是ion milling （离子研磨），也就是用聚焦离子束，垂直膜层面，沿着断面边沿轰击去除部分材料，出现一个新鲜的精细断面，然后再用SEM观察。
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10楼2016-04-15 19:53:47
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CHN1314

金虫 (正式写手)
来个人啊
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2楼2016-04-08 15:12:07
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CHN1314

金虫 (正式写手)
额  求助啊
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3楼2016-04-08 16:58:06
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CHN1314

金虫 (正式写手)
来个人啊
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4楼2016-04-08 21:06:25
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L-lutt

木虫 (小有名气)
如果要看薄膜，为什么不直接把薄膜做在脆性衬底上直接看？金属材料断面很难制备吧？总觉得抛光会把薄膜的断面抛没了

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5楼2016-04-09 15:33:35
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匿名

用户注销 (小有名气)
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6楼2016-04-09 16:25:57
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CHN1314

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by L-lutt at 2016-04-09 15:33:35
如果要看薄膜，为什么不直接把薄膜做在脆性衬底上直接看？金属材料断面很难制备吧？总觉得抛光会把薄膜的断面抛没了

还要在金属上做氧化实验呢

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7楼2016-04-13 02:14:18
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CHN1314

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 西行xixing at 2016-04-09 16:25:57
用剪刀剪一半，剩下的一半顺着剪的口子撕开试试。

金属啊，怎么剪

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8楼2016-04-13 02:14:34
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xiaoping_007

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以在表面电镀上一层保护层在镶嵌抛光或者用离子研磨
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9楼2016-04-15 16:49:41
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