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太阳追逐者

新虫 (初入文坛)

你对结晶度的定义是什么?这个难道不是用XRD判断的吗?是指晶粒的大小吗?
负偏压主要是导致基体温度升高,是温度升高导致的晶粒大小改变。
溅射本来就重复性差,你单靶靶材的XRD,SEM图像有没有.
想改善晶粒大小我觉得还是需要RTP固态源硫化,或者H2S硫化。
51楼2016-07-02 15:21:43
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fpei_csu

银虫 (小有名气)

增加负偏压可以增加离化率,同时增加离子撞击到基材表面的能量,能量增加了就可以促进晶粒的形核长大,使得结晶更加完整,不过最好还是提高一下沉积温度更明显一些

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52楼2016-07-18 10:06:22
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