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磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响 已有2人参与
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本菇凉使用CZTS靶材磁控溅射CZTS时，发现溅射后的CZTS薄膜结晶度很差，晶粒度特别小，老板让我下次溅射的时候加上一定的负偏压试试，不知道这个负偏压对溅射过程有哪些影响，能不能提高溅射薄膜的结晶度，多谢各位大侠啦~ 大恩不言谢，小女子直接   薄膜表面形貌.jpg |
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51楼2016-07-02 15:21:43
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2016-03-25 21:44:27
3楼2016-03-25 22:50:47
4楼2016-03-26 09:34:49
