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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
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徐月山

木虫 (正式写手)

草上飞
咋么看结晶度？

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努力着就好
11楼2016-03-29 00:19:30
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
晶粒尺寸太小了

发自小木虫Android客户端
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PVD ALD CVD
12楼2016-03-29 10:19:22
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
13楼2016-03-29 18:05:11
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aaron5235

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 16:42:13
负偏压能增加溅射产额，提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

负偏压哦

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
14楼2016-03-29 19:01:38
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aaron5235

木虫 (正式写手)
会使晶粒细化，也会促进长大，看你的能量了

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
15楼2016-03-29 19:02:24
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-03-29 19:02:24
会使晶粒细化，也会促进长大，看你的能量了

哥哥能具体的说一下怎么衡量这个“能量”呢，大概在什么负偏压下晶粒会细化，在什么负偏压下晶粒会长大，在不同的负偏压下，晶粒发生细化和长大的原理是什么呢
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PVD ALD CVD
16楼2016-03-29 19:52:00
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
各位大侠，怎样才能提高结晶度啊
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PVD ALD CVD
17楼2016-03-30 09:53:05
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
18楼2016-03-31 08:37:08
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
19楼2016-03-31 14:43:54
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
20楼2016-04-01 15:39:09
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