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徐月山

木虫 (正式写手)

草上飞

努力着就好
11楼2016-03-29 00:19:30
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

PVD ALD CVD
12楼2016-03-29 10:19:22
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

13楼2016-03-29 18:05:11
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aaron5235

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 16:42:13
负偏压能增加溅射产额,提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

负偏压哦

发自小木虫Android客户端
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
14楼2016-03-29 19:01:38
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aaron5235

木虫 (正式写手)

会使晶粒细化,也会促进长大,看你的能量了

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人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
15楼2016-03-29 19:02:24
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-03-29 19:02:24
会使晶粒细化,也会促进长大,看你的能量了

哥哥能具体的说一下怎么衡量这个“能量”呢,大概在什么负偏压下晶粒会细化,在什么负偏压下晶粒会长大,在不同的负偏压下,晶粒发生细化和长大的原理是什么呢
PVD ALD CVD
16楼2016-03-29 19:52:00
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

各位大侠,怎样才能提高结晶度啊
PVD ALD CVD
17楼2016-03-30 09:53:05
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

18楼2016-03-31 08:37:08
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

19楼2016-03-31 14:43:54
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

20楼2016-04-01 15:39:09
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