| 查看: 2659 | 回复: 51 | ||||
[求助]
磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响 已有2人参与
|
||||
|
本菇凉使用CZTS靶材磁控溅射CZTS时，发现溅射后的CZTS薄膜结晶度很差，晶粒度特别小，老板让我下次溅射的时候加上一定的负偏压试试，不知道这个负偏压对溅射过程有哪些影响，能不能提高溅射薄膜的结晶度，多谢各位大侠啦~ 大恩不言谢，小女子直接   薄膜表面形貌.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有95人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 5146.8
- 散金: 133
- 红花: 6
- 帖子: 2033
- 在线: 450.7小时
- 虫号: 102844
- 注册: 2005-11-14
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2016-03-25 21:44:27
4楼2016-03-26 09:34:49
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
6楼2016-03-26 16:42:13
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yangyueyf: 金币+20 2016-03-27 08:23:59
yangyueyf: 金币+20 2016-03-27 08:23:59
|
书有芯片制造，半导体制造技术，刻蚀那部分有讲 网上可以搜一下伯克利大学的semiconductor process课件的刻蚀部分 或者网上搜一下磁控溅射机台的结构，应该也能零零碎碎找到一些 发自小木虫Android客户端 |
8楼2016-03-26 21:48:20
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
9楼2016-03-26 22:27:05
aaron5235
木虫 (正式写手)
- 应助: 18 (小学生)
- 金币: 3174.8
- 散金: 1465
- 红花: 16
- 帖子: 453
- 在线: 107.9小时
- 虫号: 1721181
- 注册: 2012-03-27
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
15楼2016-03-29 19:02:24
3楼2016-03-25 22:50:47
5楼2016-03-26 14:38:37
7楼2016-03-26 21:26:52
10楼2016-03-27 08:24:21