应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
521/6返回列表123456下一页
查看: 2971  |  回复: 51
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

yangyueyf

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响 已有2人参与

本菇凉使用CZTS靶材磁控溅射CZTS时，发现溅射后的CZTS薄膜结晶度很差，晶粒度特别小，老板让我下次溅射的时候加上一定的负偏压试试，不知道这个负偏压对溅射过程有哪些影响，能不能提高溅射薄膜的结晶度，多谢各位大侠啦~
大恩不言谢，小女子直接

磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
薄膜表面形貌.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢
PVD ALD CVD
1楼 2016-03-25 20:11:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
基底加热会不会好一些。

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2016-03-25 21:44:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
各位大侠有没有知道的啊
赞一下(1人) 回复此楼
PVD ALD CVD
4楼2016-03-26 09:34:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
负偏压能增加溅射产额，提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2016-03-26 16:42:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yangyueyf: 金币+20 2016-03-27 08:23:59
引用回帖:
7楼: Originally posted by yangyueyf at 2016-03-26 21:26:52
哥哥有没有关于磁控溅射负偏压详细介绍的书目或者文献也行...

书有芯片制造，半导体制造技术，刻蚀那部分有讲
网上可以搜一下伯克利大学的semiconductor process课件的刻蚀部分
或者网上搜一下磁控溅射机台的结构，应该也能零零碎碎找到一些

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2016-03-26 21:48:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
偏压有好有坏，你需要自己去试试，不同设备有不同结果。
衬底加热比偏压效果好一点，个人经验
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2016-03-26 22:27:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aaron5235

木虫 (正式写手)
会使晶粒细化，也会促进长大，看你的能量了

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
15楼2016-03-29 19:02:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chenjin at 2016-03-25 21:44:27
基底加热会不会好一些。

基底加热对成分影响比较大，首先考虑负偏压

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
PVD ALD CVD
3楼2016-03-25 22:50:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
各位大侠帮帮忙啊
赞一下 回复此楼
PVD ALD CVD
5楼2016-03-26 14:38:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 16:42:13
负偏压能增加溅射产额，提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

哥哥有没有关于磁控溅射负偏压详细介绍的书目或者文献也行
赞一下 回复此楼
PVD ALD CVD
7楼2016-03-26 21:26:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 21:48:20
书有芯片制造，半导体制造技术，刻蚀那部分有讲
网上可以搜一下伯克利大学的semiconductor process课件的刻蚀部分
或者网上搜一下磁控溅射机台的结构，应该也能零零碎碎找到一些
...

好的，我找找
回复此楼
PVD ALD CVD
10楼2016-03-27 08:24:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yangyueyf 的主题更新
521/6返回列表123456下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 299求调剂 +8 ZVVZ13 2026-04-08 8/400 2026-04-12 00:40 by 蓝云思雨
[考研] 332求调剂 +14 蕉蕉123 2026-04-10 14/700 2026-04-12 00:27 by 蓝云思雨
[考研] 复试调剂 +6 asdasdassda 2026-04-05 7/350 2026-04-12 00:26 by 丛麟ll
[考研] 295求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-05 7/350 2026-04-11 19:02 by laoshidan
[考研] 求调剂 +13 张番茄不炒蛋 2026-04-10 14/700 2026-04-11 16:02 by vgtyfty
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH（等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 人工智能320调剂08工类还有机会吗 +11 振—TZ 2026-04-10 11/550 2026-04-10 21:51 by blankyung
[考研] 一志愿京区985，085401电子信息，本科电子信息 +3 阳光开朗的男孩 2026-04-10 3/150 2026-04-10 16:29 by sophia_93
[论文投稿] mdpi小修rvr时间四五天了 20+3 哈哈high 2026-04-08 5/250 2026-04-10 16:02 by 北京莱茵润色
[考研] 调剂申请086000一志愿西北农林科技大学生物与医药320分-本科齐鲁工业大学 +3 美美女士 2026-04-09 3/150 2026-04-10 10:31 by liuhuiying09
[考研] 考研二轮调剂 +8 故人?? 2026-04-09 8/400 2026-04-10 09:44 by 青梅duoduo
[考研] 332，085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[考研] 求调剂材料科学与工程一志愿985初试365分 +5 材化李可 2026-04-08 5/250 2026-04-09 17:00 by Lilly_Li
[考研] 287求调剂 +6 Fnhc 2026-04-07 6/300 2026-04-08 10:05 by xingguangj
[考研] 277求调剂 数一104分 +9 瓶子PZ 2026-04-05 14/700 2026-04-07 17:52 by 蓝云思雨
[考研] 316求调剂 +7 yyx想调剂 2026-04-05 7/350 2026-04-07 14:31 by shdgaomin
[考研] 372分材料与化工（085600）英二数二求调剂 +4 蓝笺片 2026-04-06 4/200 2026-04-07 12:30 by dongzh2009
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
[考研] 308求调剂 +3 终不似从前 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:07 by 啵啵啵0119
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭