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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响 已有2人参与

本菇凉使用CZTS靶材磁控溅射CZTS时，发现溅射后的CZTS薄膜结晶度很差，晶粒度特别小，老板让我下次溅射的时候加上一定的负偏压试试，不知道这个负偏压对溅射过程有哪些影响，能不能提高溅射薄膜的结晶度，多谢各位大侠啦~
大恩不言谢，小女子直接

磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
薄膜表面形貌.jpg
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PVD ALD CVD
1楼 2016-03-25 20:11:47
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
基底加热会不会好一些。

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2楼2016-03-25 21:44:27
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
各位大侠有没有知道的啊
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PVD ALD CVD
4楼2016-03-26 09:34:49
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
负偏压能增加溅射产额，提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

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6楼2016-03-26 16:42:13
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yangyueyf: 金币+20 2016-03-27 08:23:59
引用回帖:
7楼: Originally posted by yangyueyf at 2016-03-26 21:26:52
哥哥有没有关于磁控溅射负偏压详细介绍的书目或者文献也行...

书有芯片制造，半导体制造技术，刻蚀那部分有讲
网上可以搜一下伯克利大学的semiconductor process课件的刻蚀部分
或者网上搜一下磁控溅射机台的结构，应该也能零零碎碎找到一些

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8楼2016-03-26 21:48:20
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
偏压有好有坏，你需要自己去试试，不同设备有不同结果。
衬底加热比偏压效果好一点，个人经验
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9楼2016-03-26 22:27:05
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aaron5235

木虫 (正式写手)
会使晶粒细化，也会促进长大，看你的能量了

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
15楼2016-03-29 19:02:24
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普通回帖

yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chenjin at 2016-03-25 21:44:27
基底加热会不会好一些。

基底加热对成分影响比较大，首先考虑负偏压

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PVD ALD CVD
3楼2016-03-25 22:50:47
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
各位大侠帮帮忙啊
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PVD ALD CVD
5楼2016-03-26 14:38:37
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 16:42:13
负偏压能增加溅射产额，提高沉积速率。结晶度主要和退火过程有关

哥哥有没有关于磁控溅射负偏压详细介绍的书目或者文献也行
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PVD ALD CVD
7楼2016-03-26 21:26:52
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 21:48:20
书有芯片制造，半导体制造技术，刻蚀那部分有讲
网上可以搜一下伯克利大学的semiconductor process课件的刻蚀部分
或者网上搜一下磁控溅射机台的结构，应该也能零零碎碎找到一些
...

好的，我找找
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PVD ALD CVD
10楼2016-03-27 08:24:21
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