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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上膜？

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呵呵
1楼 2016-03-06 21:05:33
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

weq_ever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
镀不上膜主要有三个原因：
1、靶材没溅射出来，这个跟电源参数有关，如果涉及到反应溅射，还可能是靶材表面形成绝缘层了。
2、溅射出来原子，但没有传输到硅基底上，这可能是气压太高了，或距离太远了
3、传输到基底上没有形成膜或脱落了，比如基底没有洗干净，先刻蚀基底，再加负偏压轰击等等。
你这给的信息太少，无法判断。
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9楼2016-03-07 10:06:36
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普通回帖

gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
发个辉光照片，DC, RF？功率，气压？

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2楼2016-03-06 21:34:16
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

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3楼2016-03-06 21:40:40
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-06 21:40:40
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

是射频的，什么能量太低，功率最大了，辉光也很强

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4楼2016-03-06 21:48:39
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dubaosheng at 2016-03-06 21:48:39
是射频的，什么能量太低，功率最大了，辉光也很强
...

应该是溅射电压太低，把真空度提高一点试试

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5楼2016-03-06 22:07:04
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
真空度10-4，最低了，抽不下去了

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6楼2016-03-06 22:10:19
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dubaosheng at 2016-03-06 22:10:19
真空度10-4，最低了，抽不下去了

溅射时的工作真空度 多少？

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7楼2016-03-07 07:17:49
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-07 07:17:49
溅射时的工作真空度 多少？
...

3-8pa都试过

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8楼2016-03-07 08:54:45
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武汉隐藏人

新虫 (初入文坛)
可能只是氩气的辉光放电，靶材并没有发生溅射
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10楼2016-03-07 10:27:58
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