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dubaosheng

金虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 磁控溅射已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上膜？

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呵呵

1楼 2016-03-06 21:05:33

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

weq_ever

木虫 (小有名气)

应助: 15 (小学生)
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红花: 3
帖子: 193
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虫号: 1444544
注册: 2011-10-15
性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

镀不上膜主要有三个原因：
1、靶材没溅射出来，这个跟电源参数有关，如果涉及到反应溅射，还可能是靶材表面形成绝缘层了。
2、溅射出来原子，但没有传输到硅基底上，这可能是气压太高了，或距离太远了
3、传输到基底上没有形成膜或脱落了，比如基底没有洗干净，先刻蚀基底，再加负偏压轰击等等。
你这给的信息太少，无法判断。