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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗,辉光正常为什么si基底长不上膜?

发自小木虫IOS客户端
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呵呵
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weq_ever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
镀不上膜主要有三个原因:
1、靶材没溅射出来,这个跟电源参数有关,如果涉及到反应溅射,还可能是靶材表面形成绝缘层了。
2、溅射出来原子,但没有传输到硅基底上,这可能是气压太高了,或距离太远了
3、传输到基底上没有形成膜或脱落了,比如基底没有洗干净,先刻蚀基底,再加负偏压轰击等等。
你这给的信息太少,无法判断。
9楼2016-03-07 10:06:36
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查看全部 18 个回答

gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
发个辉光照片,DC, RF?功率,气压?

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-06 21:34:16
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
估计楼主用的是射频电源,容易产生辉光,但是能量太低,未形成溅射。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-03-06 21:40:40
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-06 21:40:40
估计楼主用的是射频电源,容易产生辉光,但是能量太低,未形成溅射。

是射频的,什么能量太低,功率最大了,辉光也很强

发自小木虫IOS客户端
呵呵
4楼2016-03-06 21:48:39
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