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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上膜？

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呵呵
1楼 2016-03-06 21:05:33
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weq_ever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
镀不上膜主要有三个原因：
1、靶材没溅射出来，这个跟电源参数有关，如果涉及到反应溅射，还可能是靶材表面形成绝缘层了。
2、溅射出来原子，但没有传输到硅基底上，这可能是气压太高了，或距离太远了
3、传输到基底上没有形成膜或脱落了，比如基底没有洗干净，先刻蚀基底，再加负偏压轰击等等。
你这给的信息太少，无法判断。
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9楼2016-03-07 10:06:36
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gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
发个辉光照片，DC, RF？功率，气压？

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2楼2016-03-06 21:34:16
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

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3楼2016-03-06 21:40:40
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-06 21:40:40
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

是射频的，什么能量太低，功率最大了，辉光也很强

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呵呵
4楼2016-03-06 21:48:39
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