应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
51/1返回列表
查看: 1479  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dubaosheng

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上膜？

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
呵呵
1楼 2016-03-06 21:05:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dubaosheng

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-06 21:40:40
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

是射频的，什么能量太低，功率最大了，辉光也很强

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
呵呵
4楼2016-03-06 21:48:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
发个辉光照片，DC, RF？功率，气压？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-03-06 21:34:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
估计楼主用的是射频电源，容易产生辉光，但是能量太低，未形成溅射。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-03-06 21:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dubaosheng at 2016-03-06 21:48:39
是射频的，什么能量太低，功率最大了，辉光也很强
...

应该是溅射电压太低，把真空度提高一点试试

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-03-06 22:07:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭