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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射Cr膜参数
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萝卜和土豆

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射Cr膜参数 已有1人参与

现想用磁控溅射（直流）Cr膜50nm左右，不知道实验参数，做过的人们求电流电压大小，镀膜速度大概是多少
小女谢过
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1楼 2016-03-01 22:24:04
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萝卜和土豆

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by perry_ping at 2016-03-02 08:47:50
设备不同，参数不同，结果就不一样。自己试着做一次，然后算一下就清楚了  。

好的，谢过啦

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5楼2016-03-02 09:20:19
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落草为理

铜虫 (初入文坛)
这个设备不同，差异挺大的。还有气压，流量等参数，你最好自己测一个镀率。以后也能用

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2楼2016-03-01 23:14:59
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perry_ping

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
设备不同，参数不同，结果就不一样。自己试着做一次，然后算一下就清楚了  。
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3楼2016-03-02 08:47:50
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萝卜和土豆

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 落草为理 at 2016-03-01 23:14:59
这个设备不同，差异挺大的。还有气压，流量等参数，你最好自己测一个镀率。以后也能用

好的，谢谢啦

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4楼2016-03-02 09:19:24
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