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萝卜和土豆

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射Cr膜参数已有1人参与

现想用磁控溅射(直流)Cr膜50nm左右,不知道实验参数,做过的人们求电流电压大小,镀膜速度大概是多少
小女谢过
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落草为理

铜虫 (初入文坛)

这个设备不同,差异挺大的。还有气压,流量等参数,你最好自己测一个镀率。以后也能用

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-01 23:14:59
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