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sunnylee108木虫 (正式写手)
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同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱，其元素含量会有很大差异么？ 已有4人参与
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同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱，其元素含量和比例会有很大差异么？ 是不是SEM的EDS能谱只能看到材料表面的元素组成，而TEM的能谱可能看到整个材料表面和内部总共的元素组成？ |
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jeffrylee
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tem穿透样品是成像的需要。穿不透也可以做eds的。tem电压200kv对应sem的最高30kv，凭什么你30kv的信号深度就比200kv的信号深度大呢？eds都测的是x射线深度，而不是电子的穿透深度。这位同学知道不？sem上把电压从15变到30kv，穿透深度都会有一定幅度的提升，这是其原理决定的，200kv凭什么不如30kv的？ 主要问题还有一个，tem上大部分样品为了成像已经弄得很薄了，所以才会想着tem的穿透深度低。但是不要拿样品厚度来代替信号深度。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2016-04-02 06:30:50
papaverme
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8楼2016-04-01 12:03:59
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我在电镜室值班，我很懂。扫描的能谱小数点后的数字没有意义，不可信。透射的小数点后一位比扫描准。是因为透射的能谱是在液氮温度下测的，所以他的传感器更准一点。建议打透射的能谱。 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-03-31 07:05:51
jeffrylee
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6楼2016-04-01 08:37:29
papaverme
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抬杠不是？如果样品在TEM下看都看不见，用TEM做EDS的意义何在？ EDS，不论SEM还是TEM上的，定量分析的相对误差通常都在1%以上，大多数时候连10%都不能保正。这样的定量精度，与其他定量成分分析方法比起来，都不好意思说是定量分析。之所以还有这么多人用电镜的上的能谱做定量或者半定量的分析，看重的就是与显微观察的同步，是可以“看着打”，可以知道分析的是什么位置的成分。 此外，SEM和TEM上的EDS能谱，在定量方法上就有很大不同。对于SEM，通常是基于标样数据库，假定的前提就是样品无限厚，以满足实验条件与标样数据对应的实验条件一致性要求，从而考虑吸收效应等因素计算校正因子。而对于TEM，由于样品膜厚的不确定性，通常没有精确的标样，而是假定样品膜厚足够薄，不考虑吸收效应。也就是说，薄试样，即是TEM成像的要求，也是TEM-EDS分析方法的标准要求。（严谨起见，这里实际是不考虑在TEM设备上使用STEM-EDS的情况。） 另外，我哪里说过“30kv的信号深度就比200kv的信号深度大”这样的话？讨论问题不要瞄错靶子。 |
10楼2016-04-02 22:51:52
Gavin6152
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13楼2017-07-12 17:22:10
 本帖仅楼主可见 |
2楼2016-03-27 11:51:33
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差别大不大主要看你TEM和SEM配备的EDS是不是同一个型号，不同厂家的误差会不小，原则上是差别不大的 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2016-03-29 10:58:31
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还有就是Sem样品台高度也要影响信号 发自小木虫Android客户端 |
4楼2016-03-30 19:26:06
sunnylee108
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7楼2016-04-01 09:26:35
