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sunnylee108

木虫 (正式写手)

[交流] 同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱,其元素含量会有很大差异么? 已有4人参与

同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱,其元素含量和比例会有很大差异么?

是不是SEM的EDS能谱只能看到材料表面的元素组成,而TEM的能谱可能看到整个材料表面和内部总共的元素组成?
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jeffrylee

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引用回帖:
8楼: Originally posted by papaverme at 2016-04-01 12:03:59
不要被误导了。

SEM上的EDS能谱的“探测深度”通常在微米级别,相对于SEM成像信号的来源深度(二次电子信号,表面10nm左右),能谱的信息来源要深得多,因此通常说能谱会打出样品内部的信息。

TEM由于加 ...

tem穿透样品是成像的需要。穿不透也可以做eds的。tem电压200kv对应sem的最高30kv,凭什么你30kv的信号深度就比200kv的信号深度大呢?eds都测的是x射线深度,而不是电子的穿透深度。这位同学知道不?sem上把电压从15变到30kv,穿透深度都会有一定幅度的提升,这是其原理决定的,200kv凭什么不如30kv的?
主要问题还有一个,tem上大部分样品为了成像已经弄得很薄了,所以才会想着tem的穿透深度低。但是不要拿样品厚度来代替信号深度。

发自小木虫Android客户端
9楼2016-04-02 06:30:50
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haohao89

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
sunnylee108: 金币+4, 十分感谢 2016-03-31 09:30:49
差别大不大主要看你TEM和SEM配备的EDS是不是同一个型号,不同厂家的误差会不小,原则上是差别不大的

发自小木虫IOS客户端
perhaps
3楼2016-03-29 10:58:31
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常青竹

木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
sunnylee108: 金币+2, 十分感谢 2016-03-31 09:31:03
还有就是Sem样品台高度也要影响信号

发自小木虫Android客户端
4楼2016-03-30 19:26:06
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zs806671453

铁虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★
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sunnylee108: 金币+4, 十分感谢 2016-03-31 09:31:12
我在电镜室值班,我很懂。扫描的能谱小数点后的数字没有意义,不可信。透射的小数点后一位比扫描准。是因为透射的能谱是在液氮温度下测的,所以他的传感器更准一点。建议打透射的能谱。

发自小木虫Android客户端
5楼2016-03-31 07:05:51
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