同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱，其元素含量会有很大差异么？ - 微米和纳米 - 合成表征

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papaverme

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5楼: Originally posted by zs806671453 at 2016-03-31 07:05:51
我在电镜室值班，我很懂。扫描的能谱小数点后的数字没有意义，不可信。透射的小数点后一位比扫描准。是因为透射的能谱是在液氮温度下测的，所以他的传感器更准一点。建议打透射的能谱。
...

液氮冷却的EDS能谱目前已经逐渐被电制冷的EDS能谱取代，你说他的传感器更准一点不知道是跟谁在比较。

无论是液氮冷却还是电制冷，都既可以配置在SEM上也可以配置在TEM上，不能算是SEM和TEM能谱的区别。

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11楼2016-04-02 22:58:24

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jeffrylee

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10楼: Originally posted by papaverme at 2016-04-02 22:51:52
抬杠不是？如果样品在TEM下看都看不见，用TEM做EDS的意义何在？

EDS，不论SEM还是TEM上的，定量分析的相对误差通常都在1%以上，大多数时候连10%都不能保正。这样的定量精度，与其他定量成分分析方法比起来 ...

sem的zaf定量分析方法是根据其样品性质定的，因为它不需要特殊制样。而tem研究的是薄样品，定量方法相对准确度低。这个是没错的。

不过我就想知道，eds信号深度跟定量方法有什么关系？tem为了形貌测试才用了薄样品，那它的eds信号深度就浅吗？

电子穿透深度跟加速电压直接相关，这点谁也反驳不了。

合理的解释是eds的信号深度已经可以超过普通tem能够拍摄样品形貌像区域的厚度了。

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12楼2016-04-03 06:19:12

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