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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 同一个物质做TEM的EDS能谱和SEM的EDS能谱，其元素含量会有很大差异么？
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)
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5楼: Originally posted by zs806671453 at 2016-03-31 07:05:51
我在电镜室值班，我很懂。扫描的能谱小数点后的数字没有意义，不可信。透射的小数点后一位比扫描准。是因为透射的能谱是在液氮温度下测的，所以他的传感器更准一点。建议打透射的能谱。
...

液氮冷却的EDS能谱目前已经逐渐被电制冷的EDS能谱取代，你说他的传感器更准一点不知道是跟谁在比较。

无论是液氮冷却还是电制冷，都既可以配置在SEM上也可以配置在TEM上，不能算是SEM和TEM能谱的区别。
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11楼2016-04-02 22:58:24
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jeffrylee

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10楼: Originally posted by papaverme at 2016-04-02 22:51:52
抬杠不是？如果样品在TEM下看都看不见，用TEM做EDS的意义何在？

EDS，不论SEM还是TEM上的，定量分析的相对误差通常都在1%以上，大多数时候连10%都不能保正。这样的定量精度，与其他定量成分分析方法比起来 ...

sem的zaf定量分析方法是根据其样品性质定的，因为它不需要特殊制样。而tem研究的是薄样品，定量方法相对准确度低。这个是没错的。

不过我就想知道，eds信号深度跟定量方法有什么关系？tem为了形貌测试才用了薄样品，那它的eds信号深度就浅吗？

电子穿透深度跟加速电压直接相关，这点谁也反驳不了。

合理的解释是eds的信号深度已经可以超过普通tem能够拍摄样品形貌像区域的厚度了。

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12楼2016-04-03 06:19:12
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Gavin6152

金虫 (小有名气)
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亲身体验，差异还挺大的。对于SEM，X射线对不同的元素探测深度是不一样的，如果样品厚度大于探测厚度，则测出来的含量可能不准。而对于TEM，样品厚度一般会小于探测厚度，成分可信度会高些。
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13楼2017-07-12 17:22:10
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泡炮

银虫 (小有名气)
★
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如果按国标操作方式，SEM会比TEM的准确度高一些，但具体样品还需要具体分析，不能一概而论
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14楼2017-12-10 13:58:27
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