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二氧化硅上直接镀金,如何解决粘附性差的问题?已有1人参与
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| 二氧化硅上直接镀金的问题:金薄膜对二氧化硅衬底的粘附性很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,最近尝试先镀了20nm的钛做过渡层,然后镀金,蒸镀方式为电子书蒸发。但后续的工艺中依然有金薄膜严重脱落的问题,请教各位虫友,有什么办法可增加金与二氧化硅之间的粘附性?或者用哪种金属替代钛做缓冲层较好? |
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