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金虫 (正式写手)

[求助] 二氧化硅上镀金，用什么过渡层金属比较好？已有1人参与

二氧化硅上直接镀金的问题：金薄膜对二氧化硅衬底的粘附性很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，最近尝试先镀了20nm的钛做过渡层，然后镀金，蒸镀方式为电子书蒸发。但后续的工艺中依然有金薄膜严重脱落的问题，请教各位虫友，有什么办法可增加金与二氧化硅之间的粘附性？或者用哪种金属替代钛做缓冲层较好？

似水流年等闲过...

1楼 2016-02-20 11:30:50

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银虫 (正式写手)

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chichister: 金币+2, ★有帮助 2016-02-22 15:31:28

Ti的黏附性很好了，我之前做过TiAu,没遇到电极脱落的问题。是不是表面没有处理干净？另外Ti的厚度加厚到50 nm左右试试

2楼2016-02-22 09:10:13

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金虫 (正式写手)

引用回帖:

2楼: Originally posted by missingxu at 2016-02-22 09:10:13
Ti的黏附性很好了，我之前做过TiAu,没遇到电极脱落的问题。是不是表面没有处理干净？另外Ti的厚度加厚到50 nm左右试试

目前正在排查其它的因素，谢谢你的意见。

似水流年等闲过...

3楼2016-02-22 12:35:44

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