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chichister金虫 (正式写手)
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[求助]
二氧化硅上镀金，用什么过渡层金属比较好？ 已有1人参与
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| 二氧化硅上直接镀金的问题：金薄膜对二氧化硅衬底的粘附性很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，最近尝试先镀了20nm的钛做过渡层，然后镀金，蒸镀方式为电子书蒸发。但后续的工艺中依然有金薄膜严重脱落的问题，请教各位虫友，有什么办法可增加金与二氧化硅之间的粘附性？或者用哪种金属替代钛做缓冲层较好？ |
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chichister
金虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
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- 虫号: 511886
- 注册: 2008-02-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2016-02-22 12:35:44