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chichister

金虫 (正式写手)

[求助] 二氧化硅上镀金,用什么过渡层金属比较好? 已有1人参与

二氧化硅上直接镀金的问题:金薄膜对二氧化硅衬底的粘附性很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,最近尝试先镀了20nm的钛做过渡层,然后镀金,蒸镀方式为电子书蒸发。但后续的工艺中依然有金薄膜严重脱落的问题,请教各位虫友,有什么办法可增加金与二氧化硅之间的粘附性?或者用哪种金属替代钛做缓冲层较好?
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似水流年等闲过...
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missingxu

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chichister: 金币+2, 有帮助 2016-02-22 15:31:28
Ti的黏附性很好了,我之前做过TiAu,没遇到电极脱落的问题。是不是表面没有处理干净?另外Ti的厚度加厚到50 nm左右试试
2楼2016-02-22 09:10:13
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chichister

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by missingxu at 2016-02-22 09:10:13
Ti的黏附性很好了,我之前做过TiAu,没遇到电极脱落的问题。是不是表面没有处理干净?另外Ti的厚度加厚到50 nm左右试试

目前正在排查其它的因素,谢谢你的意见。
似水流年等闲过...
3楼2016-02-22 12:35:44
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