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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 如何实现我图中的微纳加工？ 已有2人参与

我加工了如图中上面图示的微网格，然后溅射了纳米级的Au膜，那么我要如何才能得到图中下图的结构呢？微纳加工我是门外汉，请指教！

如何实现我图中的微纳加工？
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1楼 2016-01-15 05:07:41
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉
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2楼2016-01-15 09:46:39
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2016-01-15 09:46:39
看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉

直接腐蚀掉氧化物就可以了？还需要其它的工序吗？谢谢！
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3楼2016-01-15 12:48:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 6sbiam at 2016-01-15 12:48:44
直接腐蚀掉氧化物就可以了？还需要其它的工序吗？谢谢！...

没有其他工序了，只要确保腐蚀金属氧化物的时候不腐蚀金和衬底。
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4楼2016-01-15 16:52:28
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-01-15 16:52:28
没有其他工序了，只要确保腐蚀金属氧化物的时候不腐蚀金和衬底。...

王老师，今天看了一文献，它提到了下面这段话：A photolithograph method was used to selectively remove and pattern the as-prepared metal networks on glass substrate. A layer of negative photoresist (BN303–60) was spin-coated on the substrate with meal networks and was subsequently followed by illuminating, developing, and baking. The metal  film was then etched in concentrated  acid  for 1–2 min, followed by deionized water rinse three times.
按照您的意思，这是多余的？
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5楼2016-01-15 19:44:53
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
supernatural: 金币-2, 屏蔽内容, 帖子中不允许留下联系方式 2016-01-19 15:27:57
本帖内容被屏蔽
6楼2016-01-16 11:00:26
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-01-16 11:00:26
对于你的结构;可以考虑一步光刻胶的剥离工艺，应该可以达到要求，选用金属氧化物也可以，貌似有点没必要，不知是否有其他考虑，欢迎进一步沟通498808517

谢谢！我没有QQ。能否详细一点予以指导？我在这方面完全是门外汉啊
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7楼2016-01-16 16:04:24
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2016-01-16 16:15:27
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babyoflion

金虫 (著名写手)
直接用正性光刻胶就好~~~ 金属氧化物相对来说 自己增加难度了
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9楼2016-01-16 22:03:16
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by babyoflion at 2016-01-16 22:03:16
直接用正性光刻胶就好~~~ 金属氧化物相对来说 自己增加难度了

太专业了，完全不懂。请指教！
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10楼2016-01-16 22:13:55
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