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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 如何实现我图中的微纳加工? 已有2人参与

我加工了如图中上面图示的微网格,然后溅射了纳米级的Au膜,那么我要如何才能得到图中下图的结构呢?微纳加工我是门外汉,请指教!

如何实现我图中的微纳加工?
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by babyoflion at 2016-01-16 22:03:16
直接用正性光刻胶就好~~~ 金属氧化物相对来说 自己增加难度了

太专业了,完全不懂。请指教!
10楼2016-01-16 22:13:55
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查看全部 12 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉
2楼2016-01-15 09:46:39
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2016-01-15 09:46:39
看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉

直接腐蚀掉氧化物就可以了?还需要其它的工序吗?谢谢!
3楼2016-01-15 12:48:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 6sbiam at 2016-01-15 12:48:44
直接腐蚀掉氧化物就可以了?还需要其它的工序吗?谢谢!...

没有其他工序了,只要确保腐蚀金属氧化物的时候不腐蚀金和衬底。
4楼2016-01-15 16:52:28
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