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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 如何实现我图中的微纳加工? 已有2人参与

我加工了如图中上面图示的微网格,然后溅射了纳米级的Au膜,那么我要如何才能得到图中下图的结构呢?微纳加工我是门外汉,请指教!

如何实现我图中的微纳加工?
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-01-16 11:00:26
对于你的结构;可以考虑一步光刻胶的剥离工艺,应该可以达到要求,选用金属氧化物也可以,貌似有点没必要,不知是否有其他考虑,欢迎进一步沟通498808517

谢谢!我没有QQ。能否详细一点予以指导?我在这方面完全是门外汉啊
7楼2016-01-16 16:04:24
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查看全部 12 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉
2楼2016-01-15 09:46:39
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2016-01-15 09:46:39
看看能否找到合适的腐蚀液把金属氧化物去掉

直接腐蚀掉氧化物就可以了?还需要其它的工序吗?谢谢!
3楼2016-01-15 12:48:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 6sbiam at 2016-01-15 12:48:44
直接腐蚀掉氧化物就可以了?还需要其它的工序吗?谢谢!...

没有其他工序了,只要确保腐蚀金属氧化物的时候不腐蚀金和衬底。
4楼2016-01-15 16:52:28
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