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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

应助: 10 (幼儿园)
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注册: 2008-10-20
性别: GG
专业: 涂料

[求助] 如何实现我图中的微纳加工？已有2人参与

我加工了如图中上面图示的微网格，然后溅射了纳米级的Au膜，那么我要如何才能得到图中下图的结构呢？微纳加工我是门外汉，请指教！

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1楼 2016-01-15 05:07:41

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6sbiam

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引用回帖:

4楼: Originally posted by yswyx at 2016-01-15 16:52:28
没有其他工序了，只要确保腐蚀金属氧化物的时候不腐蚀金和衬底。...

王老师，今天看了一文献，它提到了下面这段话：A photolithograph method was used to selectively remove and pattern the as-prepared metal networks on glass substrate. A layer of negative photoresist (BN303–60) was spin-coated on the substrate with meal networks and was subsequently followed by illuminating, developing, and baking. The metal film was then etched in concentrated acid for 1–2 min, followed by deionized water rinse three times.
按照您的意思，这是多余的？