| 查看: 2218 | 回复: 8 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
如何控制CVD反应中的气压 已有5人参与
|
||
|
LZ的CVD系统针阀完全打开能抽到0.02 torr，实验所需气压大概在5torr，但感觉很难将气压控制在这个值。有时针阀拧到气压在5.0torr后，它还会慢慢升高，反应到一半升到7.0torr，不得已再开一点针阀让压力下去，退回5torr之后又会慢慢上升，这种情况给实验过程中的变量控制带来极大阻碍。 想请问各位做CVD的虫友，有什么办法能让气压精准地控制在想要的值？LZ的系统需要做什么改进？谢谢 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有214人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【技术】石墨烯超级电容器性能强悍 让锂电池汗颜？（转）
已经有14人回复
- 检验医学展望——未来十年将带来什么
已经有2人回复
- 药讯2012-12-24
已经有5人回复
- 高温等离子喷涂应用进展综述
已经有0人回复
- 化学所在石墨烯可控制备和性能研究取得突破
已经有78人回复
- 化学所在石墨烯可控制备和性能研究方面取得系列进展
已经有17人回复
- 【其它】日本东北大学等通过激光CVD法对氧化铝覆层进行低温高速成膜
已经有0人回复
6楼2016-01-18 20:24:34
123xiaomu
新虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2141.6
- 帖子: 47
- 在线: 118.7小时
- 虫号: 2643284
- 注册: 2013-09-09
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2015-12-30 23:48:13
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-07 21:25:48
感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-07 21:25:48
|
那个针阀控制的是抽气泵的抽气速率吗？ 感觉可能针阀是有档位的，不是连续在变。 改改进气量试试，稍微按比例减小一点看看可不可以 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-12-31 00:31:00
lg2880
铁杆木虫 (正式写手)
【鬼迷日眼】
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 6535.5
- 散金: 471
- 红花: 5
- 帖子: 724
- 在线: 287.4小时
- 虫号: 765154
- 注册: 2009-05-07
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2015-12-31 08:37:05
