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如何控制CVD反应中的气压 已有5人参与
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LZ的CVD系统针阀完全打开能抽到0.02 torr，实验所需气压大概在5torr，但感觉很难将气压控制在这个值。有时针阀拧到气压在5.0torr后，它还会慢慢升高，反应到一半升到7.0torr，不得已再开一点针阀让压力下去，退回5torr之后又会慢慢上升，这种情况给实验过程中的变量控制带来极大阻碍。 想请问各位做CVD的虫友，有什么办法能让气压精准地控制在想要的值？LZ的系统需要做什么改进？谢谢 |
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dorrnm
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-07 21:25:48
感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-07 21:25:48
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那个针阀控制的是抽气泵的抽气速率吗？ 感觉可能针阀是有档位的，不是连续在变。 改改进气量试试，稍微按比例减小一点看看可不可以 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-12-31 00:31:00
123xiaomu
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2楼2015-12-30 23:48:13
lg2880
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4楼2015-12-31 08:37:05
5楼2016-01-18 13:01:13
