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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】SiO2薄膜开裂问题

请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情,用sol-gel涂膜后陈化,发现有不少薄膜都有裂纹,请问有没有比较好的解决方法?

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]
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maomaoli

木虫 (正式写手)

★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):谢谢积极交流
我以前问过一个做薄膜的教授,他说在控制前面的转速,溶胶浓度要小点,还有就是后处理的升温速度要快.他们一般是在几分钟就升到800-900度,膜厚了也比较容易开裂
7楼2008-09-26 09:56:54
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普通回帖

xyan278

金虫 (小有名气)


FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
溶胶的浓度太大,应力开裂,或退火温度不当
在模仿中成长,在创新中成功
2楼2008-09-24 12:40:40
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enquan123

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by xyan278 at 2008-9-24 12:40:
溶胶的浓度太大,应力开裂,或退火温度不当

退火!!
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2008-09-25 08:28:11
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

还没退火就开裂了!
4楼2008-09-25 11:48:43
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laifulaile

银虫 (初入文坛)


FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心交流
溶胶浓度太大了
5楼2008-09-25 14:36:32
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fqf

金虫 (正式写手)


FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
单层膜厚太大,增加匀胶转速,降低溶胶浓度,缓慢干燥
6楼2008-09-25 15:39:11
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xjliuhit

木虫 (正式写手)

同行,希望有时间交流一下啊!
选我所爱,爱我所选!
8楼2008-11-04 14:43:18
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snow0122wh

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 瓦窑堡 at 2008-9-24 10:38:
请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情,用sol-gel涂膜后陈化,发现有不少薄膜都有裂纹,请问有没有比较好的解决方法?

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]

同行啊,我也遇到类似的问题,正着急呢。一起探讨啊。我的QQ247894403
人生若只如初见
9楼2008-11-07 15:06:49
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majieyuan

金虫 (小有名气)

光解决开裂问题,不考虑处理温度的话,可以选择有机无机复合,即在sol中加入PPV、PMMA等大分子支架,可处理温度在250℃左右。
若要是高温处理,有机物当然不行了,那就只能稀释Sol,但是此时薄膜厚度会有影响,估计处理后在20~30nm。
10楼2008-11-07 18:05:15
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