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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】SiO2薄膜开裂问题
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】SiO2薄膜开裂问题

请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情，用sol-gel涂膜后陈化，发现有不少薄膜都有裂纹，请问有没有比较好的解决方法？

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]
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1楼 2008-09-24 10:38:23
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

maomaoli

木虫 (正式写手)
★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):谢谢积极交流
我以前问过一个做薄膜的教授,他说在控制前面的转速,溶胶浓度要小点,还有就是后处理的升温速度要快.他们一般是在几分钟就升到800-900度,膜厚了也比较容易开裂
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7楼2008-09-26 09:56:54
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普通回帖

xyan278

金虫 (小有名气)
★
FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
溶胶的浓度太大，应力开裂，或退火温度不当
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在模仿中成长，在创新中成功
2楼2008-09-24 12:40:40
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enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by xyan278 at 2008-9-24 12:40:
溶胶的浓度太大，应力开裂，或退火温度不当

退火！！
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No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2008-09-25 08:28:11
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)
还没退火就开裂了！
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4楼2008-09-25 11:48:43
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laifulaile

银虫 (初入文坛)
★
FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心交流
溶胶浓度太大了
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5楼2008-09-25 14:36:32
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fqf

金虫 (正式写手)
★
FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
单层膜厚太大，增加匀胶转速，降低溶胶浓度，缓慢干燥
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6楼2008-09-25 15:39:11
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xjliuhit

木虫 (正式写手)
同行，希望有时间交流一下啊！
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选我所爱，爱我所选！
8楼2008-11-04 14:43:18
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snow0122wh

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 瓦窑堡 at 2008-9-24 10:38:
请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情，用sol-gel涂膜后陈化，发现有不少薄膜都有裂纹，请问有没有比较好的解决方法？

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]

同行啊，我也遇到类似的问题，正着急呢。一起探讨啊。我的QQ247894403
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人生若只如初见
9楼2008-11-07 15:06:49
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majieyuan

金虫 (小有名气)
光解决开裂问题，不考虑处理温度的话，可以选择有机无机复合，即在sol中加入PPV、PMMA等大分子支架，可处理温度在250℃左右。
若要是高温处理，有机物当然不行了，那就只能稀释Sol，但是此时薄膜厚度会有影响，估计处理后在20~30nm。
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10楼2008-11-07 18:05:15
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