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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】SiO2薄膜开裂问题
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】SiO2薄膜开裂问题

请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情，用sol-gel涂膜后陈化，发现有不少薄膜都有裂纹，请问有没有比较好的解决方法？

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]
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1楼 2008-09-24 10:38:23
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)
还没退火就开裂了！
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4楼2008-09-25 11:48:43
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xyan278

金虫 (小有名气)
★
FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
溶胶的浓度太大，应力开裂，或退火温度不当
赞一下(1人) 回复此楼
在模仿中成长，在创新中成功
2楼2008-09-24 12:40:40
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enquan123

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by xyan278 at 2008-9-24 12:40:
溶胶的浓度太大，应力开裂，或退火温度不当

退火！！
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No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2008-09-25 08:28:11
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fqf

金虫 (正式写手)
★
FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
单层膜厚太大，增加匀胶转速，降低溶胶浓度，缓慢干燥
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2008-09-25 15:39:11
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