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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】SiO2薄膜开裂问题

请教大家关于SiO2薄膜涂层开裂的事情,用sol-gel涂膜后陈化,发现有不少薄膜都有裂纹,请问有没有比较好的解决方法?

[ Last edited by SHY31 on 2008-9-25 at 12:36 ]
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majieyuan

金虫 (小有名气)

光解决开裂问题,不考虑处理温度的话,可以选择有机无机复合,即在sol中加入PPV、PMMA等大分子支架,可处理温度在250℃左右。
若要是高温处理,有机物当然不行了,那就只能稀释Sol,但是此时薄膜厚度会有影响,估计处理后在20~30nm。
10楼2008-11-07 18:05:15
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xyan278

金虫 (小有名气)


FLY_Phoenix(金币+1):谢谢热心
溶胶的浓度太大,应力开裂,或退火温度不当
在模仿中成长,在创新中成功
2楼2008-09-24 12:40:40
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enquan123

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by xyan278 at 2008-9-24 12:40:
溶胶的浓度太大,应力开裂,或退火温度不当

退火!!
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2008-09-25 08:28:11
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瓦窑堡

铜虫 (初入文坛)

还没退火就开裂了!
4楼2008-09-25 11:48:43
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