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yangliucqsq

铜虫 (著名写手)

[求助] 求能在纳米颗粒上进行金属颗粒原子层沉积的设备 已有1人参与

由于我们实验室的ALD的腔体只能在块状材料上进行沉积,现在想联系有关单位或者学校来帮我我们在纳米颗粒上镀金属,望广大虫子出出休息,小女子感激不尽!

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yangliucqsq

铜虫 (著名写手)

补充一句,是在30到50个纳米颗粒上镀金属,5到10个cycle就行了

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2楼2015-12-18 15:06:02
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zhilantian

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yangliucqsq at 2015-12-18 15:06:02
补充一句,是在30到50个纳米颗粒上镀金属,5到10个cycle就行了

什么金属?

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3楼2016-01-19 18:39:51
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yangliucqsq

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhilantian at 2016-01-19 18:39:51
什么金属?
...

铁锰钴镍这样的过渡金属

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4楼2016-01-19 18:40:45
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zhilantian

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yangliucqsq at 2016-01-19 18:40:45
铁锰钴镍这样的过渡金属
...

这样铁系的一般是沉积氧化物再还原成金属,像Pt等还可以直接沉积金属

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5楼2016-01-19 20:09:53
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yangliucqsq

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhilantian at 2016-01-19 20:09:53
这样铁系的一般是沉积氧化物再还原成金属,像Pt等还可以直接沉积金属
...

嗯,是这样没错,但是我们课题组是做过渡金属。

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6楼2016-01-19 20:10:47
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hlhlaaaa

金虫 (小有名气)

做粉末的话一般要有个流化床(FBR),不过一般很少配这个了
7楼2016-03-15 20:15:36
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yangliucqsq

铜虫 (著名写手)

对的,以前就是用硫化床,而且是自己搭的实验装置,现在我们想用ald的工艺尝试做

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8楼2016-03-16 08:11:05
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liugw123450

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
温心若水: 金币+2, 应助指数+1, 鼓励新虫发帖,欢迎常来交流! 2016-04-22 14:37:57
ALD镀金膜 目前市场上买不到金的前驱体 只有芬兰PICOSUN公司可提供相关前驱体 国内目前没有哪里镀金膜 此外 颗粒太小 容器出气孔比较大 ALD的原理决定了容易把粉末吹走 所以颗粒太小不太适合 微米级会好点
9楼2016-04-22 14:34:02
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13667726573

新虫 (初入文坛)

可以考虑原速SUPERALD的,www.superald.com有详细介绍。
10楼2018-12-29 10:53:09
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