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磁控溅射沉积YSZ靶材,无法生长成膜求指导~! 已有1人参与
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| 本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜,起辉什么都正常,但就是沉积不上去,各位有遇到类似无法沉积的问题吗?可能的原因有哪些?望赐教~! |
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kevin123581
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钦点木瓜
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king小草
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5楼2018-08-23 21:15:08













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