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磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！ 已有1人参与
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| 本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜，起辉什么都正常，但就是沉积不上去，各位有遇到类似无法沉积的问题吗？可能的原因有哪些？望赐教~！ |
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