应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1595  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lutengggg

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！ 已有1人参与

本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜，起辉什么都正常，但就是沉积不上去，各位有遇到类似无法沉积的问题吗？可能的原因有哪些？望赐教~！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-14 16:07:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？
赞一下(1人) 回复此楼
用绳命来搞科研
2楼2015-12-14 21:10:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lutengggg

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-14 21:10:24
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？

我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。
赞一下 回复此楼
3楼2015-12-15 20:36:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

我也是，等离子体羽辉正常，而且蛮大的，但是薄膜完全看不出来，我在玻璃基底上沉积的，看上去就和没有镀膜一个样子，不晓得是不是透明的。
但是我看网上别人说的最好的应该是纯白色的薄膜才好。
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-16 16:02:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

king小草

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

结果如何

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2018-08-23 21:15:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lutengggg 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 308求调剂 +11 墨墨漠 2026-04-06 11/550 2026-04-06 22:56 by 875465
[考研] 材料科学与工程320求调剂，080500 +7 黄瓜味薯片 2026-04-06 7/350 2026-04-06 22:38 by qlm5820
[考研] 调剂 +3 mcbbc 2026-04-06 4/200 2026-04-06 20:58 by lbsjt
[考研] 生物与医药求调剂 +7 heguanhua 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:41 by macy2011
[考研] 085405软件工程301分求调剂，专硕可跨专业，四六级已过 +3 静静想想 2026-04-05 3/150 2026-04-06 15:23 by nepu_uu
[考研] 301求调剂 +7 细胞相关蛋白 2026-04-03 7/350 2026-04-06 11:47 by lijunpoly
[考研] 材料与化工专硕306分找合适调剂 +6 沧海轻舟e 2026-04-06 6/300 2026-04-06 10:02 by lqwchd
[考研] 一志愿南昌大学，085600，344分求调剂 +9 调剂上岸玘 2026-04-05 10/500 2026-04-06 09:30 by dongzh2009
[考研] 材料334求调剂 +19 Eecho# 2026-04-03 19/950 2026-04-06 08:37 by 小小树2024
[考研] 085600，320分求调剂 +16 大馋小子 2026-04-04 17/850 2026-04-06 07:58 by MOF_Catal
[考研] 工科08-机械专硕-求调剂 +3 雷欧飞踢 2026-04-02 3/150 2026-04-05 18:49 by 蓝云思雨
[考研] 材料专硕306英一数二 +8 z1z2z3879 2026-03-31 8/400 2026-04-04 22:08 by hemengdong
[考研] 085701求调剂 +7 龚禹铭 2026-04-04 8/400 2026-04-04 13:49 by 小小树2024
[考研] 本9一志愿2 0854低分专硕286求调剂 +9 芒种111 2026-04-04 9/450 2026-04-04 11:01 by tangruihua
[考研] 266求调剂 +8 学员97LZgn 2026-04-03 8/400 2026-04-04 09:02 by 20021109
[考研] 求调剂，一志愿北京中医药大学 +3 小小达不溜 2026-04-02 3/150 2026-04-03 22:55 by 冲矢昴星团
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-04-02 3/150 2026-04-02 15:06 by cal0306
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +3 cs0106 2026-04-02 5/250 2026-04-02 11:37 by olim
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +8 cs0106 2026-04-01 9/450 2026-04-02 10:36 by 不吃魚的貓
[考研] 08生物与医药专硕初试346找调剂 +6 dianeeee 2026-04-01 7/350 2026-04-02 08:23 by guoweigw
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭