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lutengggg

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积YSZ靶材,无法生长成膜求指导~! 已有1人参与

本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜,起辉什么都正常,但就是沉积不上去,各位有遇到类似无法沉积的问题吗?可能的原因有哪些?望赐教~!
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1.靶基距会不会太大?2.溅射气压有没有问题,太大?3. 虽然起辉了,但是会不会功率太小?
用绳命来搞科研
2楼2015-12-14 21:10:24
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lutengggg

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-14 21:10:24
1.靶基距会不会太大?2.溅射气压有没有问题,太大?3. 虽然起辉了,但是会不会功率太小?

我突然发现,YSZ镀出来可能是透明的,我先测测再说。
3楼2015-12-15 20:36:54
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现,YSZ镀出来可能是透明的,我先测测再说。...

我也是,等离子体羽辉正常,而且蛮大的,但是薄膜完全看不出来,我在玻璃基底上沉积的,看上去就和没有镀膜一个样子,不晓得是不是透明的。
但是我看网上别人说的最好的应该是纯白色的薄膜才好。
4楼2016-03-16 16:02:33
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king小草

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现,YSZ镀出来可能是透明的,我先测测再说。...

结果如何

发自小木虫Android客户端
5楼2018-08-23 21:15:08
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