应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！
51/1返回列表
查看: 1561  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lutengggg

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！ 已有1人参与

本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜，起辉什么都正常，但就是沉积不上去，各位有遇到类似无法沉积的问题吗？可能的原因有哪些？望赐教~！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-14 16:07:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？
赞一下(1人) 回复此楼
用绳命来搞科研
2楼2015-12-14 21:10:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lutengggg

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-14 21:10:24
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？

我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。
赞一下 回复此楼
3楼2015-12-15 20:36:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

我也是，等离子体羽辉正常，而且蛮大的，但是薄膜完全看不出来，我在玻璃基底上沉积的，看上去就和没有镀膜一个样子，不晓得是不是透明的。
但是我看网上别人说的最好的应该是纯白色的薄膜才好。
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-16 16:02:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

king小草

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

结果如何

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2018-08-23 21:15:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lutengggg 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂！ +3 不想理你 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:59 by JourneyLucky
[考研] 二本跨考郑大材料306英一数二 +3 z1z2z3879 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:29 by JourneyLucky
[考研] 279分求调剂 一志愿211 +11 chaojifeixia 2026-03-19 12/600 2026-03-21 01:49 by 星空星月
[考研] 294求调剂材料与化工专硕 +15 陌の森林 2026-03-18 15/750 2026-03-20 23:28 by JourneyLucky
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂，总分315（英一） +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 材料学硕297已过四六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-03-19 11/550 2026-03-20 21:30 by laoshidan
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 319求调剂 +3 小力气珂珂 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:47 by JourneyLucky
[考研] 环境工程调剂 +9 大可digkids 2026-03-16 9/450 2026-03-20 17:38 by 醉在风里
[考研] 08工学调剂 +5 用户573181 2026-03-20 5/250 2026-03-20 15:47 by xia_2003
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +5 1孙悟空 2026-03-17 6/300 2026-03-19 23:46 by zcl123
[考研] 0703化学调剂 +10 妮妮ninicgb 2026-03-15 14/700 2026-03-19 22:59 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂 +5 枫桥ZL 2026-03-18 7/350 2026-03-19 14:52 by 功夫疯狂
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 10/500 2026-03-19 14:31 by lemonzzn
[考研] 一志愿福大288有机化学，求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 本科郑州大学物理学院，一志愿华科070200学硕，346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 0703化学 305求调剂 +4 FY_yy 2026-03-14 4/200 2026-03-19 05:54 by anny19840123
[考研] 302求调剂 +10 呼呼呼。。。。 2026-03-17 10/500 2026-03-18 12:45 by Linda Hu
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭