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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！
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lutengggg

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射沉积YSZ靶材，无法生长成膜求指导~！ 已有1人参与

本人用磁控溅射法在Si上沉积YSZ薄膜，起辉什么都正常，但就是沉积不上去，各位有遇到类似无法沉积的问题吗？可能的原因有哪些？望赐教~！
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1楼 2015-12-14 16:07:51
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？
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用绳命来搞科研
2楼2015-12-14 21:10:24
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lutengggg

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-14 21:10:24
1.靶基距会不会太大？2.溅射气压有没有问题，太大？3. 虽然起辉了，但是会不会功率太小？

我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。
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3楼2015-12-15 20:36:54
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

我也是，等离子体羽辉正常，而且蛮大的，但是薄膜完全看不出来，我在玻璃基底上沉积的，看上去就和没有镀膜一个样子，不晓得是不是透明的。
但是我看网上别人说的最好的应该是纯白色的薄膜才好。
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4楼2016-03-16 16:02:33
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king小草

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lutengggg at 2015-12-15 20:36:54
我突然发现，YSZ镀出来可能是透明的，我先测测再说。...

结果如何

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5楼2018-08-23 21:15:08
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