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克努特

铜虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

[求助] 光刻涂胶机抽真空原理已有1人参与

如题，涂胶机托盘和硅基间的真空是如何保障两者不接触的？可否用力学解释下？

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1楼 2015-12-13 16:25:40

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克努特

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引用回帖:

4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-17 12:11:45
chuck起到的作用就是把真空引到wafer的背面，同时起到密闭真空的作用。也就是说，chuck和wafer的背面形成了一个密闭的真空空间。既然是密闭的，那么chuck必然有一部分是和wafer接触形成封闭，否则不就漏了嘛。
回复 ...

您的意思是通过真空腔结构，利用大气压力把wafer固定到chuck上