应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 光刻涂胶机抽真空原理
51/1返回列表
查看: 1521  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

克努特

铜虫 (小有名气)

[求助] 光刻涂胶机抽真空原理 已有1人参与

如题，涂胶机托盘和硅基间的真空是如何保障两者不接触的？可否用力学解释下？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-13 16:25:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
克努特(明亮的眼眸代发): 金币+5, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-17 22:19:40
chuck起到的作用就是把真空引到wafer的背面，同时起到密闭真空的作用。也就是说，chuck和wafer的背面形成了一个密闭的真空空间。既然是密闭的，那么chuck必然有一部分是和wafer接触形成封闭，否则不就漏了嘛。
回复里面不知道怎么贴图，有个剖面图就很简单了。
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-17 12:11:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
谁告诉你说匀胶的chuck和wafer不接触的？？？？
被骗了吧
赞一下 回复此楼
2楼2015-12-14 19:08:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

克努特

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-14 19:08:32
谁告诉你说匀胶的chuck和wafer不接触的？？？？
被骗了吧

您能仔细说一下么？chuck和wafer之间在涂胶的过程中不是有个真空层么？能介绍下么？
赞一下 回复此楼
3楼2015-12-17 11:20:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

克努特

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-17 12:11:45
chuck起到的作用就是把真空引到wafer的背面，同时起到密闭真空的作用。也就是说，chuck和wafer的背面形成了一个密闭的真空空间。既然是密闭的，那么chuck必然有一部分是和wafer接触形成封闭，否则不就漏了嘛。
回复 ...

您的意思是通过真空腔结构，利用大气压力把wafer固定到chuck上
赞一下 回复此楼
5楼2015-12-17 18:37:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 281求调剂（0805） +9 烟汐忆海 2026-03-16 19/950 2026-03-19 11:42 by laoshidan
[考研] 346求调剂[0856] +3 WayneLim327 2026-03-16 6/300 2026-03-19 11:21 by WayneLim327
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +7 小材化本科 2026-03-18 7/350 2026-03-19 10:46 by Linda Hu
[考研] 330求调剂 +3 小材化本科 2026-03-18 3/150 2026-03-18 21:55 by 无懈可击111
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +7 步川酷紫123 2026-03-13 7/350 2026-03-18 17:12 by 尽舜尧1
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 301求调剂 +9 yy要上岸呀 2026-03-17 9/450 2026-03-18 08:58 by 无际的草原
[考研] 334求调剂 +3 志存高远意在机� 2026-03-16 3/150 2026-03-18 08:34 by lm4875102
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[基金申请] 被我言中：新模板不强调格式了，假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +3 嘉年新程 2026-03-15 3/150 2026-03-15 13:58 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭