【答案】应助回帖

» 猜你喜欢

dspe-br合成请教已经有0人回复
天津工业大学招高分子化学或有机合成方向的博士和博士生已经有0人回复
高分子科学论文润色/翻译怎么收费? 已经有145人回复
天津工业大学郑柳春招高分子化学或有机合成方向的博士生已经有0人回复
天津工业大学郑柳春团队长期招化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生已经有0人回复
天津工业大学郑柳春团队长期招化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生已经有0人回复
同济大学张海军教授2026年度博士招生已经有1人回复
同济大学张海军教授2026年度博士招生已经有0人回复
工作一年半了，突然分配到浮选药剂的合成，我想问问浮选药剂是不是夕阳产业了已经有12人回复

1楼2015-12-13 16:25:40

克努特

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 116.1
帖子: 57
在线: 55.3小时
虫号: 2694873
注册: 2013-10-02
性别: GG
专业: 光子与光电子器件

引用回帖:

2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-14 19:08:32
谁告诉你说匀胶的chuck和wafer不接触的？？？？
被骗了吧

您能仔细说一下么？chuck和wafer之间在涂胶的过程中不是有个真空层么？能介绍下么？

3楼2015-12-17 11:20:57

查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
应助: 807 (博后)
贵宾: 0.204
金币: 2618.1
散金: 6018
红花: 112
帖子: 2705
在线: 577.8小时
虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

谁告诉你说匀胶的chuck和wafer不接触的？？？？
被骗了吧

2楼2015-12-14 19:08:32

yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
应助: 807 (博后)
贵宾: 0.204
金币: 2618.1
散金: 6018
红花: 112
帖子: 2705
在线: 577.8小时
虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
克努特(明亮的眼眸代发): 金币+5, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-17 22:19:40

chuck起到的作用就是把真空引到wafer的背面，同时起到密闭真空的作用。也就是说，chuck和wafer的背面形成了一个密闭的真空空间。既然是密闭的，那么chuck必然有一部分是和wafer接触形成封闭，否则不就漏了嘛。
回复里面不知道怎么贴图，有个剖面图就很简单了。

4楼2015-12-17 12:11:45

克努特

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 116.1
帖子: 57
在线: 55.3小时
虫号: 2694873
注册: 2013-10-02
性别: GG
专业: 光子与光电子器件

引用回帖:

4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-17 12:11:45
chuck起到的作用就是把真空引到wafer的背面，同时起到密闭真空的作用。也就是说，chuck和wafer的背面形成了一个密闭的真空空间。既然是密闭的，那么chuck必然有一部分是和wafer接触形成封闭，否则不就漏了嘛。
回复 ...

您的意思是通过真空腔结构，利用大气压力把wafer固定到chuck上

5楼2015-12-17 18:37:51