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光刻涂胶机抽真空原理 已有1人参与
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| 如题，涂胶机托盘和硅基间的真空是如何保障两者不接触的？可否用力学解释下？ |
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3楼2015-12-17 11:20:57
yswyx 
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4楼2015-12-17 12:11:45
5楼2015-12-17 18:37:51