| 查看: 2443 | 回复: 12 | |||
[求助]
用SU-8胶光刻后，用什么显影液和去胶液？ 已有4人参与
|
|||
最近做试验用SU-8胶光刻后，用的老师买的显影液和去胶液，显影液挺好用，去胶液就去不了胶啊。并且这两瓶液体上写的需要带防护措施，对健康以及生育能力和胎儿有影响，我们平时就带个医用口罩，所以求助大家用什么显影液和去胶液，具体怎么防护的。谢谢了 |
回复此楼
10楼2015-12-08 19:11:20
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-12-29 21:27:59
感谢参与，应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-12-29 21:27:59
|
你说的这些副作用当年没怎么关注过，但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧，多少都会有些毒性。 去胶的话，没钱用丙酮加热煮就行，然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液，光刻返工用的，当然也可以去胶，只不过很贵。 主要是操作这些溶液的时候不是在桌子上直接做的，有个那种作业台，有个罩子，里面一直在抽气，只把手伸进去操作。 公司里涂胶显影但是自动化设备做的，人不会直接接触的 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-12-06 13:14:36
3楼2015-12-06 14:06:06
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
4楼2015-12-06 14:33:47
5楼2015-12-06 15:20:28
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
6楼2015-12-06 15:59:35
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4736.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2499
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
7楼2015-12-07 12:45:46
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
8楼2015-12-07 18:23:08
9楼2015-12-08 11:29:25