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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ameng391

新虫 (小有名气)

[求助] 用SU-8胶光刻后,用什么显影液和去胶液? 已有4人参与

最近做试验用SU-8胶光刻后,用的老师买的显影液和去胶液,显影液挺好用,去胶液就去不了胶啊。并且这两瓶液体上写的需要带防护措施,对健康以及生育能力和胎儿有影响,我们平时就带个医用口罩,所以求助大家用什么显影液和去胶液,具体怎么防护的。谢谢了
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2015-12-29 21:28:44
显影液是PGMEA,去胶液各家用的不一样,但确实都不好去胶。
建议就别去胶了,直接换片子重新做。如果是非要做什么结构,可以把图和指标发给我,我看看能不能用别的好去的胶来做。
关于防护,SU8相关的溶剂基本上毒性都非常低。自己仔细阅读MSDS,在通风橱中操作,没什么问题。口罩可以选择有活性炭的,然并卵。实在害怕可以买个猪鼻子带。
8楼2015-12-07 18:23:08
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-12-29 21:27:59
你说的这些副作用当年没怎么关注过,但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧,多少都会有些毒性。
去胶的话,没钱用丙酮加热煮就行,然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液,光刻返工用的,当然也可以去胶,只不过很贵。
主要是操作这些溶液的时候不是在桌子上直接做的,有个那种作业台,有个罩子,里面一直在抽气,只把手伸进去操作。
公司里涂胶显影但是自动化设备做的,人不会直接接触的

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-06 13:14:36
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ameng391

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-06 13:14:36
你说的这些副作用当年没怎么关注过,但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧,多少都会有些毒性。
去胶的话,没钱用丙酮加热煮就行,然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液,光刻返工用的,当然也可以 ...

我们是在操作柜里 但是柜门大开的 要不手伸进去不方便 虽说抽风的也开的 但是还是味道比较重

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-12-06 14:06:06
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

那个柜门不是从上往下拉的么,拉低一点啊
戴个防毒面具做实验肯定是不现实的..

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-06 14:33:47
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