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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用SU-8胶光刻后，用什么显影液和去胶液？
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ameng391

新虫 (小有名气)

[求助] 用SU-8胶光刻后，用什么显影液和去胶液？ 已有4人参与

最近做试验用SU-8胶光刻后，用的老师买的显影液和去胶液，显影液挺好用，去胶液就去不了胶啊。并且这两瓶液体上写的需要带防护措施，对健康以及生育能力和胎儿有影响，我们平时就带个医用口罩，所以求助大家用什么显影液和去胶液，具体怎么防护的。谢谢了
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1楼 2015-12-06 11:51:57
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yssyc

金虫 (正式写手)
放心做吧，戴上口罩，通风橱门拉好就行，曾经一直待超净间的妹子飘过。
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10楼2015-12-08 19:11:20
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普通回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-12-29 21:27:59
你说的这些副作用当年没怎么关注过，但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧，多少都会有些毒性。
去胶的话，没钱用丙酮加热煮就行，然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液，光刻返工用的，当然也可以去胶，只不过很贵。
主要是操作这些溶液的时候不是在桌子上直接做的，有个那种作业台，有个罩子，里面一直在抽气，只把手伸进去操作。
公司里涂胶显影但是自动化设备做的，人不会直接接触的

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2楼2015-12-06 13:14:36
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ameng391

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-06 13:14:36
你说的这些副作用当年没怎么关注过，但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧，多少都会有些毒性。
去胶的话，没钱用丙酮加热煮就行，然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液，光刻返工用的，当然也可以 ...

我们是在操作柜里 但是柜门大开的 要不手伸进去不方便 虽说抽风的也开的 但是还是味道比较重

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3楼2015-12-06 14:06:06
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

那个柜门不是从上往下拉的么，拉低一点啊
戴个防毒面具做实验肯定是不现实的..

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4楼2015-12-06 14:33:47
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ameng391

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-06 14:33:47
那个柜门不是从上往下拉的么，拉低一点啊
戴个防毒面具做实验肯定是不现实的..

恩 以后尽量拉低一点。你们用的什么溶液去胶的？就是去掉光刻固化的模型，基片再次适用

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5楼2015-12-06 15:20:28
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ameng391 at 2015-12-06 15:20:28
恩 以后尽量拉低一点。你们用的什么溶液去胶的？就是去掉光刻固化的模型，基片再次适用
...

你在网上查一查‘’光刻胶剥离液‘’
那个东西去胶效果非常好

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6楼2015-12-06 15:59:35
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU8去胶一直是难题，如果要基片返工使用的话 还不如直接买新的基片更好！ 如果是必须要去胶的话 除了干法刻蚀外，我所知道的 估计也就浓硫酸和双氧水 煮煮  另外NMP80度煮煮 应该有点效果！
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7楼2015-12-07 12:45:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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ameng391: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2015-12-29 21:28:44
显影液是PGMEA，去胶液各家用的不一样，但确实都不好去胶。
建议就别去胶了，直接换片子重新做。如果是非要做什么结构，可以把图和指标发给我，我看看能不能用别的好去的胶来做。
关于防护，SU8相关的溶剂基本上毒性都非常低。自己仔细阅读MSDS，在通风橱中操作，没什么问题。口罩可以选择有活性炭的，然并卵。实在害怕可以买个猪鼻子带。
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8楼2015-12-07 18:23:08
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ameng391

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-07 18:23:08
显影液是PGMEA，去胶液各家用的不一样，但确实都不好去胶。
建议就别去胶了，直接换片子重新做。如果是非要做什么结构，可以把图和指标发给我，我看看能不能用别的好去的胶来做。
关于防护，SU8相关的溶剂基本上毒 ...

谢谢了 看的显影液和去胶液上写的危害那么大 我都不敢做实验了

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9楼2015-12-08 11:29:25
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