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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用SU-8胶光刻后，用什么显影液和去胶液？
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ameng391

新虫 (小有名气)

[求助] 用SU-8胶光刻后，用什么显影液和去胶液？ 已有4人参与

最近做试验用SU-8胶光刻后，用的老师买的显影液和去胶液，显影液挺好用，去胶液就去不了胶啊。并且这两瓶液体上写的需要带防护措施，对健康以及生育能力和胎儿有影响，我们平时就带个医用口罩，所以求助大家用什么显影液和去胶液，具体怎么防护的。谢谢了
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1楼 2015-12-06 11:51:57
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yssyc

金虫 (正式写手)
放心做吧，戴上口罩，通风橱门拉好就行，曾经一直待超净间的妹子飘过。
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10楼2015-12-08 19:11:20
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ameng391: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-12-29 21:27:59
你说的这些副作用当年没怎么关注过，但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧，多少都会有些毒性。
去胶的话，没钱用丙酮加热煮就行，然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液，光刻返工用的，当然也可以去胶，只不过很贵。
主要是操作这些溶液的时候不是在桌子上直接做的，有个那种作业台，有个罩子，里面一直在抽气，只把手伸进去操作。
公司里涂胶显影但是自动化设备做的，人不会直接接触的

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2楼2015-12-06 13:14:36
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ameng391

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-06 13:14:36
你说的这些副作用当年没怎么关注过，但是我感觉这类有机溶剂应该都差不多吧，多少都会有些毒性。
去胶的话，没钱用丙酮加热煮就行，然后用甲醇和水洗干净。想要效果好可以直接用ebr剥离液，光刻返工用的，当然也可以 ...

我们是在操作柜里 但是柜门大开的 要不手伸进去不方便 虽说抽风的也开的 但是还是味道比较重

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3楼2015-12-06 14:06:06
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

那个柜门不是从上往下拉的么，拉低一点啊
戴个防毒面具做实验肯定是不现实的..

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4楼2015-12-06 14:33:47
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