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汕头大学海洋科学接受调剂
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xia323

银虫 (初入文坛)

[求助] Cu薄膜 已有1人参与

用磁控溅射在常温生长的Cu(5nm)薄膜,SEM测试显示有裂纹,请教一下大家是什么原因造成的?谢谢
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xia323

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by love_cs at 2015-12-10 22:55:45
这个不是裂纹

那这个是?
6楼2015-12-29 10:36:08
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对面的墙

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有没有照片,如裂纹比较均匀,可以考虑应力的问题?

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-05 18:30:40
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xia323

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 对面的墙 at 2015-12-05 18:30:40
有没有照片,如裂纹比较均匀,可以考虑应力的问题?

这是图片,感觉裂纹较均匀
Cu薄膜
20151109-1.GIF

3楼2015-12-05 20:27:51
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对面的墙

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
引用回帖:
3楼: Originally posted by xia323 at 2015-12-05 20:27:51
这是图片,感觉裂纹较均匀

20151109-1.GIF
...

降薄膜厚度,或薄膜要去应力退火试试

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-06 00:04:58
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