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Cu薄膜 已有1人参与
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| 用磁控溅射在常温生长的Cu(5nm)薄膜,SEM测试显示有裂纹,请教一下大家是什么原因造成的?谢谢 |
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薄膜制备与特性 |
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- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
2楼2015-12-05 18:30:40
3楼2015-12-05 20:27:51
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【答案】应助回帖
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xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
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降薄膜厚度,或薄膜要去应力退火试试 发自小木虫Android客户端 |
4楼2015-12-06 00:04:58
5楼2015-12-10 22:55:45
6楼2015-12-29 10:36:08











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