24小时热门版块排行榜    

查看: 943  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xia323

银虫 (初入文坛)

[求助] Cu薄膜 已有1人参与

用磁控溅射在常温生长的Cu(5nm)薄膜,SEM测试显示有裂纹,请教一下大家是什么原因造成的?谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)

5楼2015-12-10 22:55:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

对面的墙

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有没有照片,如裂纹比较均匀,可以考虑应力的问题?

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-05 18:30:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xia323

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 对面的墙 at 2015-12-05 18:30:40
有没有照片,如裂纹比较均匀,可以考虑应力的问题?

这是图片,感觉裂纹较均匀
Cu薄膜
20151109-1.GIF

3楼2015-12-05 20:27:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

对面的墙

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
引用回帖:
3楼: Originally posted by xia323 at 2015-12-05 20:27:51
这是图片,感觉裂纹较均匀

20151109-1.GIF
...

降薄膜厚度,或薄膜要去应力退火试试

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-06 00:04:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分,一志愿四川大学,诚心求调剂 +5 吃吃吃才有意义 2026-03-19 5/250 2026-03-19 16:18 by 30660438
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 317求调剂 +3 申子申申 2026-03-19 6/300 2026-03-19 14:16 by 申子申申
[考研] 287求调剂 +3 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-19 12:32 by peike
[考研] 0817调剂 +3 没有答案_ 2026-03-14 3/150 2026-03-19 09:51 by Xu de nuo
[考研] 一志愿武理材料305分求调剂 +5 想上岸的鲤鱼 2026-03-18 6/300 2026-03-18 17:53 by 无际的草原
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +7 步川酷紫123 2026-03-13 7/350 2026-03-18 17:12 by 尽舜尧1
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸! 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考博] 环境领域全国重点实验室招收博士1-2名 +3 QGZDSYS 2026-03-13 5/250 2026-03-18 11:13 by QGZDSYS
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 321求调剂 +5 大米饭! 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
信息提示
请填处理意见