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| 用磁控溅射在常温生长的Cu（5nm）薄膜，SEM测试显示有裂纹,请教一下大家是什么原因造成的？谢谢 |
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 薄膜制备与特性 |
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【答案】应助回帖
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xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
xia323: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-12-06 19:38:23
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降薄膜厚度，或薄膜要去应力退火试试 发自小木虫Android客户端 |
4楼2015-12-06 00:04:58
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2楼2015-12-05 18:30:40
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