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小y_无心

银虫 (小有名气)

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专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形

腐蚀液：10%TMAH，82℃
光刻图形：矩形条
掩膜：SiO2
异常现象如下图，矩形条边沿腐蚀速度更快，结果比中间更深
哪位大神知道原因啊！

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1楼 2015-11-24 23:09:06

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xiaochen1123

金虫 (小有名气)

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专业: 水泥与耐火材料

请问您有有关于TMAH化学性质与硅二氧化硅，的相关资料吗？

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2楼2016-01-23 09:13:09

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